செமிகண்டக்டர் (FAB) சுத்தமான அறையில் உள்ள ஈரப்பதத்தின் இலக்கு மதிப்பு

செமிகண்டக்டர் (FAB) சுத்தமான அறையில் உள்ள ஈரப்பதத்தின் இலக்கு மதிப்பு தோராயமாக 30 முதல் 50% வரை இருக்கும், இது லித்தோகிராஃபி மண்டலம் போன்ற ±1% பிழையின் குறுகிய விளிம்பை அனுமதிக்கிறது - அல்லது தொலைதூர புற ஊதா செயலாக்கத்தில் (DUV) மண்டலம் - மற்ற இடங்களில் அது ± 5% வரை தளர்த்தப்படலாம்.
உறவினர் ஈரப்பதம், சுத்தமான அறைகளின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனைக் குறைக்கும் காரணிகளின் வரம்பைக் கொண்டிருப்பதால்:
1. பாக்டீரியா வளர்ச்சி;
2. ஊழியர்களுக்கான அறை வெப்பநிலை ஆறுதல் வரம்பு;
3. மின்னியல் கட்டணம் தோன்றுகிறது;
4. உலோக அரிப்பு;
5. நீர் நீராவி ஒடுக்கம்;
6. லித்தோகிராஃபியின் சிதைவு;
7. நீர் உறிஞ்சுதல்.

பாக்டீரியா மற்றும் பிற உயிரியல் அசுத்தங்கள் (அச்சுகள், வைரஸ்கள், பூஞ்சைகள், பூச்சிகள்) 60% க்கும் அதிகமான ஈரப்பதம் கொண்ட சூழலில் செழித்து வளரும். சில பாக்டீரியா சமூகங்கள் 30% க்கும் அதிகமான ஈரப்பதத்தில் வளரும். ஈரப்பதம் 40% முதல் 60% வரை கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும் என்று நிறுவனம் நம்புகிறது, இது பாக்டீரியா மற்றும் சுவாச நோய்த்தொற்றுகளின் தாக்கத்தை குறைக்கும்.

40% முதல் 60% வரையிலான ஈரப்பதம் மனித வசதிக்கான மிதமான வரம்பாகும். அதிக ஈரப்பதம் மக்களை மூச்சுத்திணறச் செய்யும், அதே சமயம் 30% க்கும் குறைவான ஈரப்பதம் வறண்ட, தோல் வெடிப்பு, சுவாசக் கோளாறு மற்றும் உணர்ச்சியற்ற மகிழ்ச்சியின்மை போன்றவற்றை உணர வைக்கும்.

அதிக ஈரப்பதம் உண்மையில் க்ளீன்ரூம் மேற்பரப்பில் மின்னியல் கட்டணங்களின் திரட்சியைக் குறைக்கிறது - விரும்பிய முடிவு. குறைந்த ஈரப்பதம் சார்ஜ் திரட்சிக்கு ஏற்றது மற்றும் மின்னியல் வெளியேற்றத்தின் சாத்தியமான சேதப்படுத்தும் ஆதாரமாகும். ஈரப்பதம் 50% ஐத் தாண்டினால், மின்னியல் கட்டணங்கள் விரைவாகச் சிதறத் தொடங்குகின்றன, ஆனால் ஈரப்பதம் 30% க்கும் குறைவாக இருக்கும்போது, ​​அவை ஒரு இன்சுலேட்டர் அல்லது ஒரு நிலத்தடி மேற்பரப்பில் நீண்ட நேரம் நீடிக்கும்.

35% மற்றும் 40% இடையே உள்ள ஈரப்பதம் திருப்திகரமான சமரசமாகப் பயன்படுத்தப்படலாம், மேலும் குறைக்கடத்தி சுத்தமான அறைகள் பொதுவாக மின்னியல் கட்டணங்களின் திரட்சியைக் கட்டுப்படுத்த கூடுதல் கட்டுப்பாடுகளைப் பயன்படுத்துகின்றன.

பல இரசாயன எதிர்வினைகளின் வேகம், அரிப்பு செயல்முறைகள் உட்பட, ஈரப்பதத்தின் அதிகரிப்புடன் அதிகரிக்கும். சுத்தமான அறையைச் சுற்றியுள்ள காற்றுக்கு வெளிப்படும் அனைத்து மேற்பரப்புகளும் விரைவாக இருக்கும்.