குறைக்கடத்தி (FAB) சுத்தமான அறையில் ஒப்பீட்டு ஈரப்பதத்தின் இலக்கு மதிப்பு

ஒரு குறைக்கடத்தி (FAB) சுத்தமான அறையில் ஒப்பீட்டு ஈரப்பதத்தின் இலக்கு மதிப்பு தோராயமாக 30 முதல் 50% ஆகும், இது லித்தோகிராஃபி மண்டலத்தில் ±1% என்ற குறுகிய பிழை விளிம்பை அனுமதிக்கிறது - அல்லது தொலைதூர புற ஊதா செயலாக்க (DUV) மண்டலத்தில் இன்னும் குறைவாக - மற்ற இடங்களில் இதை ±5% வரை தளர்த்தலாம்.
ஏனெனில் ஈரப்பதம் சுத்தமான அறைகளின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறனைக் குறைக்கக்கூடிய பல காரணிகளைக் கொண்டுள்ளது, அவற்றுள்:
1. பாக்டீரியா வளர்ச்சி;
2. ஊழியர்களுக்கான அறை வெப்பநிலை ஆறுதல் வரம்பு;
3. மின்னியல் மின்னூட்டம் தோன்றுகிறது;
4. உலோக அரிப்பு;
5. நீராவி ஒடுக்கம்;
6. லித்தோகிராஃபியின் சீரழிவு;
7. நீர் உறிஞ்சுதல்.

பாக்டீரியா மற்றும் பிற உயிரியல் மாசுபாடுகள் (பூஞ்சைகள், வைரஸ்கள், பூஞ்சை, பூச்சிகள்) 60% க்கும் அதிகமான ஈரப்பதம் உள்ள சூழல்களில் செழித்து வளரக்கூடும். சில பாக்டீரியா சமூகங்கள் 30% க்கும் அதிகமான ஈரப்பதத்தில் வளரக்கூடும். ஈரப்பதத்தை 40% முதல் 60% வரை கட்டுப்படுத்த வேண்டும் என்று நிறுவனம் நம்புகிறது, இது பாக்டீரியா மற்றும் சுவாச நோய்த்தொற்றுகளின் தாக்கத்தைக் குறைக்கும்.

40% முதல் 60% வரையிலான ஈரப்பதம் மனித ஆறுதலுக்கு மிதமான வரம்பாகும். அதிகப்படியான ஈரப்பதம் மக்களை மூச்சுத்திணறல் உணர வைக்கும், அதே நேரத்தில் 30% க்கும் குறைவான ஈரப்பதம் மக்களை வறண்ட சருமம், வெடிப்பு, சுவாசக் கோளாறு மற்றும் உணர்ச்சி ரீதியான மகிழ்ச்சியற்ற தன்மையை உணர வைக்கும்.

அதிக ஈரப்பதம் உண்மையில் சுத்தமான அறை மேற்பரப்பில் மின்னியல் மின்னூட்டங்களின் குவிப்பைக் குறைக்கிறது - இது ஒரு விரும்பிய முடிவு. குறைந்த ஈரப்பதம் மின்னூட்டக் குவிப்புக்கு ஏற்றது மற்றும் மின்னியல் வெளியேற்றத்தின் சேதப்படுத்தும் மூலமாகும். ஒப்பீட்டு ஈரப்பதம் 50% ஐ விட அதிகமாக இருக்கும்போது, ​​மின்னியல் மின்னூட்டங்கள் விரைவாகக் கரையத் தொடங்குகின்றன, ஆனால் ஒப்பீட்டு ஈரப்பதம் 30% க்கும் குறைவாக இருக்கும்போது, ​​அவை ஒரு மின்கடத்தா அல்லது ஒரு தரையற்ற மேற்பரப்பில் நீண்ட நேரம் நீடிக்கும்.

35% முதல் 40% வரையிலான ஒப்பீட்டு ஈரப்பதத்தை திருப்திகரமான சமரசமாகப் பயன்படுத்தலாம், மேலும் குறைக்கடத்தி சுத்தமான அறைகள் பொதுவாக மின்னியல் கட்டணங்களின் திரட்சியைக் கட்டுப்படுத்த கூடுதல் கட்டுப்பாடுகளைப் பயன்படுத்துகின்றன.

ஈரப்பதம் அதிகரிப்பதால், அரிப்பு செயல்முறைகள் உட்பட பல வேதியியல் எதிர்வினைகளின் வேகம் அதிகரிக்கும். சுத்தமான அறையைச் சுற்றியுள்ள காற்றில் வெளிப்படும் அனைத்து மேற்பரப்புகளும் விரைவாகச் செல்லும்.