ஏர் கண்டிஷனிங் அமைப்பின் இரண்டாம் நிலை திரும்பும் காற்றுத் திட்டத்தைப் பின்பற்றுவதற்குப் பயன்படுத்தப்படும் ஒப்பீட்டளவில் சிறிய சுத்தமான அறை பகுதி மற்றும் குறைந்த அளவிலான திரும்பும் காற்று குழாய் கொண்ட மைக்ரோ-எலக்ட்ரானிக் பட்டறை. இந்த திட்டமும் பொதுவாக பயன்படுத்தப்படுகிறதுசுத்தமான அறைகள்மருந்துகள் மற்றும் மருத்துவ பராமரிப்பு போன்ற பிற தொழில்களில். சுத்தமான அறை வெப்பநிலை ஈரப்பதத்தின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கான காற்றோட்ட அளவு பொதுவாக தூய்மை நிலையை அடைய தேவையான காற்றோட்ட அளவை விட மிகக் குறைவாக இருப்பதால், விநியோக காற்றுக்கும் திரும்பும் காற்றுக்கும் இடையிலான வெப்பநிலை வேறுபாடு சிறியது. முதன்மை திரும்பும் காற்றுத் திட்டம் பயன்படுத்தப்பட்டால், சப்ளை ஏர் ஸ்டேட் பாயிண்ட் மற்றும் ஏர் கண்டிஷனிங் யூனிட்டின் பனி புள்ளி இடையே வெப்பநிலை வேறுபாடு பெரியது, இரண்டாம் நிலை வெப்பமாக்கல் தேவைப்படுகிறது, இதன் விளைவாக காற்று சுத்திகரிப்பு செயல்பாட்டில் குளிர் வெப்பம் ஈடுசெய்யப்பட்டு அதிக ஆற்றல் நுகர்வு ஏற்படுகிறது. . இரண்டாம் நிலை திரும்பும் காற்று திட்டம் பயன்படுத்தப்பட்டால், முதன்மை திரும்பும் காற்று திட்டத்தின் இரண்டாம் நிலை வெப்பத்தை மாற்றுவதற்கு இரண்டாம் நிலை திரும்பும் காற்று பயன்படுத்தப்படலாம். முதன்மை மற்றும் இரண்டாம் நிலை திரும்பும் காற்று விகிதத்தின் சரிசெய்தல் இரண்டாம் நிலை வெப்பத்தை சரிசெய்வதை விட சற்று குறைவான உணர்திறன் கொண்டதாக இருந்தாலும், சிறிய மற்றும் நடுத்தர அளவிலான மைக்ரோ-எலக்ட்ரானிக் சுத்தமான பட்டறைகளில் இரண்டாம் நிலை திரும்பும் காற்று திட்டம் காற்றுச்சீரமைத்தல் ஆற்றல் சேமிப்பு நடவடிக்கையாக பரவலாக அங்கீகரிக்கப்பட்டுள்ளது. .
ஐஎஸ்ஓ வகுப்பு 6 மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் சுத்தமான பட்டறையை உதாரணமாக எடுத்துக் கொள்ளுங்கள், சுத்தமான பணிமனை பகுதி 1 000 மீ2, உச்சவரம்பு உயரம் 3 மீ. உட்புற வடிவமைப்பு அளவுருக்கள் வெப்பநிலை tn= (23±1) ℃, ஈரப்பதம் φn=50% ±5%; வடிவமைப்பு காற்று வழங்கல் அளவு 171,000 m3/h, சுமார் 57 h-1 காற்று பரிமாற்ற நேரங்கள், மற்றும் புதிய காற்றின் அளவு 25 500 m3/h (இதில் செயல்முறை வெளியேற்ற காற்றின் அளவு 21 000 m3/h, மீதமுள்ளவை நேர்மறை அழுத்தம் கசிவு காற்று அளவு). சுத்தமான பட்டறையில் உள்ள உணர்திறன் வெப்ப சுமை 258 kW (258 W/m2), காற்றுச்சீரமைப்பியின் வெப்பம்/ஈரப்பத விகிதம் ε=35 000 kJ/kg, மற்றும் அறை திரும்பும் காற்றின் வெப்பநிலை வேறுபாடு 4.5 ℃. இந்த நேரத்தில், முதன்மை திரும்பும் காற்றின் அளவு
இது தற்போது மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழிற்துறை சுத்தமான அறையில் சுத்திகரிப்பு ஏர் கண்டிஷனிங் அமைப்பின் மிகவும் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் வடிவமாகும், இந்த வகை அமைப்பை முக்கியமாக மூன்று வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (உலர்ந்த சுருள்) +FFU. ஒவ்வொன்றும் அதன் நன்மைகள் மற்றும் தீமைகள் மற்றும் பொருத்தமான இடங்களைக் கொண்டுள்ளன, ஆற்றல் சேமிப்பு விளைவு முக்கியமாக வடிகட்டி மற்றும் விசிறி மற்றும் பிற உபகரணங்களின் செயல்திறனைப் பொறுத்தது.
1) AHU+FFU அமைப்பு.
இந்த வகை சிஸ்டம் பயன்முறையானது மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில் "ஏர் கண்டிஷனிங் மற்றும் சுத்திகரிப்பு கட்டத்தை பிரிக்கும் வழி" என்று பயன்படுத்தப்படுகிறது. இரண்டு சூழ்நிலைகள் இருக்கலாம்: ஒன்று ஏர் கண்டிஷனிங் சிஸ்டம் புதிய காற்றை மட்டுமே கையாள்கிறது, மேலும் சுத்திகரிக்கப்பட்ட புதிய காற்று சுத்தமான அறையின் அனைத்து வெப்பத்தையும் ஈரப்பதத்தையும் தாங்கி, வெளியேற்றக் காற்றையும் நேர்மறை அழுத்தக் கசிவையும் சமப்படுத்த துணைக் காற்றாகச் செயல்படுகிறது. சுத்தமான அறையின், இந்த அமைப்பு MAU+FFU அமைப்பு என்றும் அழைக்கப்படுகிறது; மற்றொன்று, சுத்தமான அறையின் குளிர் மற்றும் வெப்பச் சுமை தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய புதிய காற்றின் அளவு மட்டும் போதாது, அல்லது புதிய காற்று வெளிப்புற நிலையிலிருந்து பனி புள்ளி வரை செயலாக்கப்படுவதால் தேவையான இயந்திரத்தின் குறிப்பிட்ட என்டல்பி வேறுபாடு மிக அதிகமாக உள்ளது. , மற்றும் உட்புற காற்றின் ஒரு பகுதி (ஒரு திரும்பும் காற்றுக்கு சமமானது) காற்றுச்சீரமைத்தல் சிகிச்சை அலகுக்கு திரும்பியது, வெப்பம் மற்றும் ஈரப்பதம் சிகிச்சைக்காக புதிய காற்றுடன் கலக்கப்பட்டு, பின்னர் காற்று விநியோக பிளீனத்திற்கு அனுப்பப்படுகிறது. மீதமுள்ள சுத்தமான அறை திரும்பும் காற்றுடன் கலந்து (இரண்டாம் நிலை திரும்பும் காற்றுக்கு சமம்), அது FFU அலகுக்குள் நுழைந்து பின்னர் சுத்தமான அறைக்கு அனுப்புகிறது. 1992 முதல் 1994 வரை, இந்த ஆய்வறிக்கையின் இரண்டாவது ஆசிரியர் சிங்கப்பூர் நிறுவனத்துடன் ஒத்துழைத்தார் மற்றும் 10 க்கும் மேற்பட்ட பட்டதாரி மாணவர்களை US-ஹாங்காங் கூட்டு நிறுவனமான SAE எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழிற்சாலையின் வடிவமைப்பில் பங்கேற்க வழிவகுத்தார், இது பிந்தைய வகையான சுத்திகரிப்பு ஏர் கண்டிஷனிங் மற்றும் காற்றோட்டம் அமைப்பு. இந்தத் திட்டமானது சுமார் 6,000 மீ 2 (இதில் 1,500 மீ2 ஜப்பான் வளிமண்டல முகமையால் ஒப்பந்தம் செய்யப்பட்டது) ஐஎஸ்ஓ வகுப்பு 5 சுத்தமான அறையைக் கொண்டுள்ளது. ஏர் கண்டிஷனிங் அறை வெளிப்புற சுவருடன் சுத்தமான அறை பக்கத்திற்கு இணையாக அமைக்கப்பட்டுள்ளது, மேலும் தாழ்வாரத்திற்கு அருகில் மட்டுமே. புதிய காற்று, வெளியேற்றும் காற்று மற்றும் திரும்பும் காற்று குழாய்கள் குறுகியவை மற்றும் சீராக அமைக்கப்பட்டன.
2) MAU+AHU+FFU திட்டம்.
இந்த தீர்வு பொதுவாக மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் ஆலைகளில் பல வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதம் தேவைகள் மற்றும் வெப்பம் மற்றும் ஈரப்பதம் சுமைகளில் பெரிய வேறுபாடுகளுடன் காணப்படுகிறது, மேலும் தூய்மையின் அளவும் அதிகமாக உள்ளது. கோடையில், புதிய காற்று குளிர்ந்து, ஒரு நிலையான அளவுரு புள்ளியில் ஈரப்பதத்தை நீக்குகிறது. ஐசோமெட்ரிக் என்டல்பி கோட்டின் குறுக்குவெட்டு புள்ளி மற்றும் சுத்தமான அறையின் 95% ஈரப்பதம் கோட்டின் பிரதிநிதி வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதம் அல்லது மிகப்பெரிய புதிய காற்றின் அளவு கொண்ட சுத்தமான அறைக்கு புதிய காற்றை சிகிச்சை செய்வது பொதுவாக பொருத்தமானது. MAU இன் காற்றின் அளவு காற்றை நிரப்ப ஒவ்வொரு சுத்தமான அறையின் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தீர்மானிக்கப்படுகிறது, மேலும் ஒவ்வொரு சுத்தமான அறையின் AHU க்கும் தேவையான புதிய காற்றின் அளவின்படி குழாய்கள் மூலம் விநியோகிக்கப்படுகிறது, மேலும் வெப்பத்திற்காக சில உள் திரும்பும் காற்றுடன் கலக்கப்படுகிறது. மற்றும் ஈரப்பதம் சிகிச்சை. இந்த அலகு அனைத்து வெப்பம் மற்றும் ஈரப்பதம் சுமை மற்றும் அது சேவை செய்யும் சுத்தமான அறையின் புதிய வாத நோய் சுமையின் ஒரு பகுதியை தாங்குகிறது. ஒவ்வொரு AHU ஆல் சிகிச்சை அளிக்கப்படும் காற்று ஒவ்வொரு சுத்தமான அறையிலும் உள்ள சப்ளை ஏர் பிளீனத்திற்கு அனுப்பப்படுகிறது, மேலும் உட்புற திரும்பும் காற்றுடன் இரண்டாம் நிலை கலந்த பிறகு, அது FFU அலகு மூலம் அறைக்குள் அனுப்பப்படுகிறது.
MAU+AHU+FFU தீர்வின் முக்கிய நன்மை என்னவென்றால், தூய்மை மற்றும் நேர்மறை அழுத்தத்தை உறுதி செய்வதோடு, ஒவ்வொரு சுத்தமான அறை செயல்முறையின் உற்பத்திக்கும் தேவையான வெவ்வேறு வெப்பநிலைகள் மற்றும் ஈரப்பதத்தை இது உறுதி செய்கிறது. இருப்பினும், அடிக்கடி AHU அமைப்பதன் காரணமாக, அறையின் பரப்பளவு பெரியது, சுத்தமான அறை சுத்தமான காற்று, திரும்பும் காற்று, காற்று விநியோக குழாய்கள் குறுக்காக, ஒரு பெரிய இடத்தை ஆக்கிரமித்தல், தளவமைப்பு மிகவும் தொந்தரவாக உள்ளது, பராமரிப்பு மற்றும் மேலாண்மை மிகவும் கடினம். மற்றும் சிக்கலானது, எனவே, பயன்பாட்டைத் தவிர்க்க முடிந்தவரை சிறப்புத் தேவைகள் இல்லை.
இடுகை நேரம்: மார்ச்-26-2024