ஏர் கண்டிஷனிங் அமைப்பிற்கான இரண்டாம் நிலை திரும்பும் காற்று திட்டம்

ஒப்பீட்டளவில் சிறிய சுத்தமான அறைப் பகுதி மற்றும் திரும்பும் காற்று குழாயின் வரையறுக்கப்பட்ட ஆரம் கொண்ட மைக்ரோ-எலக்ட்ரானிக் பட்டறை, ஏர் கண்டிஷனிங் அமைப்பின் இரண்டாம் நிலை திரும்பும் காற்றுத் திட்டத்தை ஏற்றுக்கொள்ளப் பயன்படுகிறது. இந்தத் திட்டம் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறதுசுத்தமான அறைகள்மருந்துகள் மற்றும் மருத்துவ பராமரிப்பு போன்ற பிற தொழில்களில். சுத்தமான அறை வெப்பநிலை ஈரப்பதத்தின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கான காற்றோட்ட அளவு பொதுவாக தூய்மை நிலையை அடையத் தேவையான காற்றோட்ட அளவை விட மிகக் குறைவாக இருப்பதால், விநியோக காற்றுக்கும் திரும்பும் காற்றுக்கும் இடையிலான வெப்பநிலை வேறுபாடு சிறியதாக இருக்கும். முதன்மை திரும்பும் காற்றுத் திட்டம் பயன்படுத்தப்பட்டால், விநியோக காற்று நிலை புள்ளிக்கும் ஏர் கண்டிஷனிங் அலகின் பனி புள்ளிக்கும் இடையிலான வெப்பநிலை வேறுபாடு அதிகமாக இருந்தால், இரண்டாம் நிலை வெப்பமாக்கல் தேவைப்படுகிறது, இதன் விளைவாக காற்று சிகிச்சை செயல்பாட்டில் குளிர் வெப்ப ஈடுசெய்யப்பட்டு அதிக ஆற்றல் நுகர்வு ஏற்படுகிறது. இரண்டாம் நிலை திரும்பும் காற்றுத் திட்டம் பயன்படுத்தப்பட்டால், முதன்மை திரும்பும் காற்றுத் திட்டத்தின் இரண்டாம் நிலை வெப்பத்தை மாற்ற இரண்டாம் நிலை திரும்பும் காற்றைப் பயன்படுத்தலாம். முதன்மை மற்றும் இரண்டாம் நிலை திரும்பும் காற்று விகிதத்தின் சரிசெய்தல் இரண்டாம் நிலை வெப்பத்தின் சரிசெய்தலை விட சற்று குறைவான உணர்திறன் கொண்டதாக இருந்தாலும், இரண்டாம் நிலை திரும்பும் காற்றுத் திட்டம் சிறிய மற்றும் நடுத்தர அளவிலான மைக்ரோ-எலக்ட்ரானிக் சுத்தமான பட்டறைகளில் காற்றுச்சீரமைப்பி ஆற்றல் சேமிப்பு நடவடிக்கையாக பரவலாக அங்கீகரிக்கப்பட்டுள்ளது.

உதாரணமாக, ISO வகுப்பு 6 மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் சுத்தமான பட்டறையை எடுத்துக் கொள்ளுங்கள், 1 000 மீ2 சுத்தமான பட்டறை பரப்பளவு, 3 மீ கூரை உயரம். உட்புற வடிவமைப்பு அளவுருக்கள் வெப்பநிலை tn= (23±1) ℃, ஒப்பீட்டு ஈரப்பதம் φn=50%±5%; வடிவமைப்பு காற்று விநியோக அளவு 171,000 மீ3/மணி, சுமார் 57 மணி-1 காற்று பரிமாற்ற நேரங்கள், மற்றும் புதிய காற்றின் அளவு 25 500 மீ3/மணி (இதில் செயல்முறை வெளியேற்றக் காற்றின் அளவு 21 000 மீ3/மணி, மீதமுள்ளவை நேர்மறை அழுத்த கசிவு காற்றின் அளவு). சுத்தமான பட்டறையில் உணரக்கூடிய வெப்ப சுமை 258 kW (258 W/m2), காற்றுச்சீரமைப்பியின் வெப்பம்/ஈரப்பதம் விகிதம் ε=35 000 kJ/கிகி, மற்றும் அறையின் திரும்பும் காற்றின் வெப்பநிலை வேறுபாடு 4.5 ℃. இந்த நேரத்தில், முதன்மை திரும்பும் காற்றின் அளவு
மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையின் சுத்தமான அறையில் தற்போது இது மிகவும் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் சுத்திகரிப்பு ஏர் கண்டிஷனிங் அமைப்பாகும், இந்த வகை அமைப்பை முக்கியமாக மூன்று வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (உலர் சுருள்) +FFU. ஒவ்வொன்றும் அதன் நன்மைகள் மற்றும் தீமைகள் மற்றும் பொருத்தமான இடங்களைக் கொண்டுள்ளன, ஆற்றல் சேமிப்பு விளைவு முக்கியமாக வடிகட்டி மற்றும் விசிறி மற்றும் பிற உபகரணங்களின் செயல்திறனைப் பொறுத்தது.

1) AHU+FFU அமைப்பு.

இந்த வகையான அமைப்பு முறை மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில் "ஏர் கண்டிஷனிங் மற்றும் சுத்திகரிப்பு கட்டத்தை பிரிக்கும் வழி" என்று பயன்படுத்தப்படுகிறது. இரண்டு சூழ்நிலைகள் இருக்கலாம்: ஒன்று, ஏர் கண்டிஷனிங் அமைப்பு புதிய காற்றை மட்டுமே கையாள்கிறது, மேலும் சிகிச்சையளிக்கப்பட்ட புதிய காற்று சுத்தமான அறையின் அனைத்து வெப்பம் மற்றும் ஈரப்பத சுமையையும் தாங்கி, சுத்தமான அறையின் வெளியேற்றக் காற்று மற்றும் நேர்மறை அழுத்த கசிவை சமநிலைப்படுத்த ஒரு துணை காற்றாக செயல்படுகிறது, இந்த அமைப்பு MAU+FFU அமைப்பு என்றும் அழைக்கப்படுகிறது; மற்றொன்று, சுத்தமான அறையின் குளிர் மற்றும் வெப்ப சுமை தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய புதிய காற்றின் அளவு மட்டும் போதுமானதாக இல்லை, அல்லது புதிய காற்று வெளிப்புற நிலையிலிருந்து பனி புள்ளிக்கு செயலாக்கப்படுவதால் தேவையான இயந்திரத்தின் குறிப்பிட்ட என்டல்பி வேறுபாடு மிகப் பெரியது, மேலும் உட்புறக் காற்றின் ஒரு பகுதி (திரும்பும் காற்றுக்கு சமம்) ஏர் கண்டிஷனிங் சிகிச்சை அலகுக்குத் திருப்பி அனுப்பப்படுகிறது, வெப்பம் மற்றும் ஈரப்பதம் சிகிச்சைக்காக புதிய காற்றோடு கலக்கப்படுகிறது, பின்னர் காற்று விநியோக பிளீனத்திற்கு அனுப்பப்படுகிறது. மீதமுள்ள சுத்தமான அறை திரும்பும் காற்றோடு (இரண்டாம் நிலை திரும்பும் காற்றுக்கு சமம்) கலந்து, அது FFU அலகுக்குள் நுழைந்து பின்னர் சுத்தமான அறைக்கு அனுப்புகிறது. 1992 முதல் 1994 வரை, இந்த ஆய்வறிக்கையின் இரண்டாவது ஆசிரியர் ஒரு சிங்கப்பூர் நிறுவனத்துடன் ஒத்துழைத்து, 10க்கும் மேற்பட்ட பட்டதாரி மாணவர்களை அமெரிக்க-ஹாங்காங் கூட்டு முயற்சியான SAE எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழிற்சாலையின் வடிவமைப்பில் பங்கேற்க வழிநடத்தினார், இது பிந்தைய வகையான சுத்திகரிப்பு காற்றுச்சீரமைத்தல் மற்றும் காற்றோட்ட அமைப்பை ஏற்றுக்கொண்டது. இந்த திட்டத்தில் தோராயமாக 6,000 மீ2 (1,500 மீ2 ஜப்பான் வளிமண்டல நிறுவனத்தால் ஒப்பந்தம் செய்யப்பட்டது) கொண்ட ஐஎஸ்ஓ வகுப்பு 5 சுத்தமான அறை உள்ளது. காற்றுச்சீரமைத்தல் அறை வெளிப்புற சுவருடன் சுத்தமான அறை பக்கத்திற்கு இணையாகவும், தாழ்வாரத்திற்கு அருகில் மட்டுமே அமைக்கப்பட்டுள்ளது. புதிய காற்று, வெளியேற்றும் காற்று மற்றும் திரும்பும் காற்று குழாய்கள் குறுகியதாகவும் சீராகவும் அமைக்கப்பட்டிருக்கும்.

2) MAU+AHU+FFU திட்டம்.

இந்தக் கரைசல் பொதுவாக பல வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதத் தேவைகள் மற்றும் வெப்பம் மற்றும் ஈரப்பத சுமையில் பெரிய வேறுபாடுகள் கொண்ட மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் ஆலைகளில் காணப்படுகிறது, மேலும் தூய்மை நிலையும் அதிகமாக உள்ளது. கோடையில், புதிய காற்று குளிர்விக்கப்பட்டு ஒரு நிலையான அளவுரு புள்ளிக்கு ஈரப்பதமாக்கப்படுகிறது. ஐசோமெட்ரிக் என்டல்பி கோட்டின் குறுக்குவெட்டுப் புள்ளிக்கும், பிரதிநிதித்துவ வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதம் கொண்ட சுத்தமான அறையின் 95% ஒப்பீட்டு ஈரப்பதக் கோட்டிற்கும் அல்லது மிகப்பெரிய புதிய காற்று அளவைக் கொண்ட சுத்தமான அறைக்கும் புதிய காற்றைச் சிகிச்சையளிப்பது பொதுவாக பொருத்தமானது. காற்றை நிரப்ப ஒவ்வொரு சுத்தமான அறையின் தேவைகளுக்கு ஏற்ப MAU இன் காற்றின் அளவு தீர்மானிக்கப்படுகிறது, மேலும் தேவையான புதிய காற்று அளவிற்கு ஏற்ப குழாய்கள் மூலம் ஒவ்வொரு சுத்தமான அறையின் AHU க்கும் விநியோகிக்கப்படுகிறது, மேலும் வெப்பம் மற்றும் ஈரப்பதம் சிகிச்சைக்காக சில உட்புற திரும்பும் காற்றோடு கலக்கப்படுகிறது. இந்த அலகு அனைத்து வெப்பம் மற்றும் ஈரப்பத சுமையையும், அது சேவை செய்யும் சுத்தமான அறையின் புதிய வாத நோய் சுமையின் ஒரு பகுதியையும் தாங்குகிறது. ஒவ்வொரு AHU ஆல் சிகிச்சையளிக்கப்படும் காற்று ஒவ்வொரு சுத்தமான அறையிலும் உள்ள விநியோக காற்று பிளீனத்திற்கு அனுப்பப்படுகிறது, மேலும் உட்புற திரும்பும் காற்றுடன் இரண்டாம் நிலை கலந்த பிறகு, அது FFU அலகு மூலம் அறைக்குள் அனுப்பப்படுகிறது.

MAU+AHU+FFU தீர்வின் முக்கிய நன்மை என்னவென்றால், தூய்மை மற்றும் நேர்மறை அழுத்தத்தை உறுதி செய்வதோடு, ஒவ்வொரு சுத்தமான அறை செயல்முறையின் உற்பத்திக்கும் தேவையான வெவ்வேறு வெப்பநிலை மற்றும் ஈரப்பதத்தையும் இது உறுதி செய்கிறது. இருப்பினும், பெரும்பாலும் AHU அமைக்கப்பட்டதன் காரணமாக, அறையின் பரப்பளவு பெரியதாக உள்ளது, சுத்தமான அறை புதிய காற்று, திரும்பும் காற்று, காற்று விநியோக குழாய்கள் குறுக்காக உள்ளன, ஒரு பெரிய இடத்தை ஆக்கிரமித்துள்ளன, தளவமைப்பு மிகவும் தொந்தரவாக உள்ளது, பராமரிப்பு மற்றும் மேலாண்மை மிகவும் கடினமாகவும் சிக்கலானதாகவும் உள்ளது, எனவே, பயன்பாட்டைத் தவிர்க்க முடிந்தவரை சிறப்புத் தேவைகள் எதுவும் இல்லை.